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(1)肥皂泡法:在疑似點擦拭肥皂液，檢查是否有氣泡，從而區(qū)分SF6氣體是否泄漏。

優(yōu)缺點：監(jiān)測方法簡單明了，不需要昂貴的儀器設備，但監(jiān)測精度差，監(jiān)測片面，監(jiān)測周期長，不適合普測。

(2)包扎法:在疑似點將塑料包裝袋捆扎，靜放標準長度后，用定量分析儀監(jiān)測捆扎位置SF6氣體濃度值，判斷是否漏氣。

優(yōu)缺點：可完成定量分析和監(jiān)測，但很容易受到工作溫度、氣壓、塑料包裝袋體型、檢測設備等的影響。

(3)真空方法：對于未充氣的SF6氣體絕緣配電設備，機械設備各部分真空至約133Pa，靜置4h以上，監(jiān)測真空度是否降低，確定是否有漏氣。

優(yōu)缺點：主要用于出廠監(jiān)測，不能完成帶電檢測，應用限制較大。

(4)鹵化物測定方法:利用金屬鉑的鹵素效應來確定檢測點是否漏氣。

優(yōu)缺點：泄漏點的泄漏率、氣體濃度值等主要基本參數(shù)可定量分析計算，測量精度不高。

(5)超聲波法：當溫度和壓力相同時，待測氣體濃度值可轉換為混合氣體平均聲速的問題。采用相位差法測量聲速，即在發(fā)送超聲波的同時開始脈沖記數(shù)，直到監(jiān)測回波信號的范圍值超過一定閾值，然后乘以記數(shù)周期獲得超聲波傳輸時間，固定傳輸距離除以此時間為聲速。

優(yōu)缺點：測量精度受振動、噪聲和超聲波在氣體介質中衰減的影響較大。

(6)聲波法:利用SF6氣體中聲音的傳播小于大氣中的傳播特性。

優(yōu)缺點：監(jiān)測方法簡單明了，但精度很低，受SF6氣體在區(qū)域環(huán)境中的比例制約。

(7)氣敏半導體法:利用氣敏半導體吸收氣體后電阻值的變化來判斷吸收氣體的類型和濃度值，從而判斷是否有泄漏。

優(yōu)缺點：應用歷史長，技術應用相對性完善，監(jiān)測精度好。

(8)電化學法:用電化學氣體探測器測量電流值，間接測量被檢位置周圍區(qū)域環(huán)境中SF6氣體的濃度值。

優(yōu)缺點：測量精度高，但傳感器容易飽和，隨著測量精度的提高，零提高而增加。

(9)熱導探測器方法：根據(jù)不同的蒸汽，熱敏元件的電阻值變化不同，監(jiān)測電路中的電流也隨之變化。SF6蒸汽濃度值可根據(jù)電流變化值和蒸汽的熱導系數(shù)計算。

優(yōu)缺點：監(jiān)測結果受氣流穩(wěn)定性干擾較大，監(jiān)測結果不直觀，必須計算分析，不適合現(xiàn)場使用。

(10)示蹤法:利用SF6汽體的吸附特性，添加可被SF6分子吸附的物質，間接測量SF6汽體的濃度值。

優(yōu)缺點：監(jiān)測高精度，必須使用輔助汽體，僅限于實驗室科學研究，不能在現(xiàn)場實際操作。

(11)濕敏傳感器方法：利用溫濕度變化和變化與泄漏速率呈正相關的特點，確認泄漏速率和嚴重性。

優(yōu)缺點：對溫度、濕度傳感器精度要求高，且無典型應用實例，僅處于理論基礎研究環(huán)節(jié)。

(12)紫外線電離法：根據(jù)檢測儀器的輸入和輸出波型判斷是否有泄漏。輸出波型的滯后時間意味著泄漏的SF6量。

優(yōu)缺點：泄漏環(huán)節(jié)可根據(jù)波形直觀反映，測量精度仍有待提高。

(13)激光顯像方法：將激光發(fā)送到檢查位置，將激光反向傳輸?shù)郊す鈹z像頭顯像系統(tǒng)。SF6蒸汽體驗吸收激光能量，并利用反向傳輸激光差引起的顯像差來判斷是否泄漏。

優(yōu)缺點：屬于簡單的視覺監(jiān)測，監(jiān)測結果精度高，但激光成本較高，體型較大，不適合現(xiàn)場監(jiān)測。

(14)紅外成像方法：SF6蒸汽的使用比空氣對指定波段的紅外線具有更強的吸收選擇后，應用于散光成像技術進行成像。當SF6汽體出現(xiàn)在監(jiān)測范圍內時，由于SF6汽體對10.3~10.7μm波段的紅外光具有較強的吸收功能，因此由于吸收功能，反射到檢測儀器的紅外能量明顯減弱，SF6汽體在分析儀屏幕上是否漏氣。